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PI 壓電陶瓷Z向/偏擺平臺(tái)P-518 ? P-528 ? P-558

    

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品牌PI (Physik Instrumente) 有效期至長(zhǎng)期有效 最后更新2021-09-13 15:23
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PI 壓電陶瓷Z向/偏擺平臺(tái)P-518 ? P-528 ? P-558

 PI 壓電陶瓷Z向/偏擺平臺(tái)P-518 • P-528 • P-558 

P-518 • P-528 • P-558 壓電陶瓷Z向/偏擺平臺(tái)

高動(dòng)態(tài),帶大通光孔徑

譚晶
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§ 三軸Z向和偏擺平臺(tái) / 單軸Z向位移臺(tái)

§ 垂直偏擺角達(dá)200微米/2毫弧度,閉環(huán) (開(kāi)環(huán)達(dá)240 微米/2.4 毫弧度)

§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽 命

§ 通光孔徑為66 毫米 × 66 毫米

§ 電容式傳感器帶來(lái)最高線(xiàn)性度

 

應(yīng)用領(lǐng)域

·         計(jì)量

·         干涉測(cè)量

·         光子學(xué)/集成光學(xué)

·         平版印刷術(shù)

·         納米定位

·         掃描顯微鏡

·         樣本對(duì)準(zhǔn)

·         微加工

帶電容式傳感器,實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量,且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線(xiàn)性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí),數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損,無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)位置測(cè)量實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的高跟蹤精度

各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償(取決于帶寬)(主動(dòng)導(dǎo)向)。即使在動(dòng)態(tài)操作中,跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。

訂購(gòu)信息

 

P-558.ZCD

精密納米定位Z向位移臺(tái),50微米,直接位置測(cè)量,電容傳感器,Sub-D連接器

 

P-558.ZCL

精密納米定位Z向位移臺(tái),50微米,直接位置測(cè)量,電容傳感器,LEMO連接器

 

P-518.ZCD

精密納米定位Z向位移臺(tái),100微米,直接位置測(cè)量,電容傳感器,Sub-D連接器

 

P-518.ZCL

精密納米定位Z向位移臺(tái),100微米,直接位置測(cè)量,電容傳感器,LEMO連接器

 

P-528.ZCD

精密納米定位Z向位移臺(tái),200微米,直接位置測(cè)量,電容傳感器,Sub-D連接器

 

P-528.ZCL

精密納米定位Z向位移臺(tái),200微米,直接位置測(cè)量,電容傳感器,LEMO連接器

 

P-558.TCD

精密納米定位器Z向位移臺(tái)和偏擺臺(tái),50微米,0.6毫弧度,平行計(jì)量,電容傳感器,Sub-D連接器

 

P-518.TCD

精密納米定位器Z向位移臺(tái)和偏擺臺(tái),100微米,1.4毫弧度,平行計(jì)量,電容傳感器,Sub-D連接器

 

P-528.TCD

精密納米定位器Z向位移臺(tái)和偏擺臺(tái),200微米,2.4毫弧度,平行計(jì)量,電容傳感器,Sub-D連接器


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1)渠道廣泛,國(guó)內(nèi)有代理,或者有客戶(hù)保護(hù)廠家不賣(mài)的產(chǎn)品,只要您能提供型號(hào),我們同樣可以從德國(guó)的分銷(xiāo)商來(lái)采購(gòu)。

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