品牌PI (Physik Instrumente) | 有效期至長(zhǎng)期有效 | 最后更新2021-09-13 15:23 |
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P-518 • P-528 • P-558 壓電陶瓷Z向/偏擺平臺(tái)
高動(dòng)態(tài),帶大通光孔徑
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§ 三軸Z向和偏擺平臺(tái) / 單軸Z向位移臺(tái)
§ 垂直偏擺角達(dá)200微米/2毫弧度,閉環(huán) (開(kāi)環(huán)達(dá)240 微米/2.4 毫弧度)
§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度
§ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽 命
§ 通光孔徑為66 毫米 × 66 毫米
§ 電容式傳感器帶來(lái)最高線(xiàn)性度
· 計(jì)量
· 干涉測(cè)量
· 光子學(xué)/集成光學(xué)
· 平版印刷術(shù)
· 納米定位
· 掃描顯微鏡
· 樣本對(duì)準(zhǔn)
· 微加工
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量,且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線(xiàn)性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí),數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。
專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損,無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償(取決于帶寬)(主動(dòng)導(dǎo)向)。即使在動(dòng)態(tài)操作中,跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。
訂購(gòu)信息
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精密納米定位Z向位移臺(tái),50微米,直接位置測(cè)量,電容傳感器,Sub-D連接器
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精密納米定位Z向位移臺(tái),50微米,直接位置測(cè)量,電容傳感器,LEMO連接器
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精密納米定位Z向位移臺(tái),100微米,直接位置測(cè)量,電容傳感器,Sub-D連接器
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精密納米定位Z向位移臺(tái),100微米,直接位置測(cè)量,電容傳感器,LEMO連接器
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精密納米定位Z向位移臺(tái),200微米,直接位置測(cè)量,電容傳感器,Sub-D連接器
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精密納米定位Z向位移臺(tái),200微米,直接位置測(cè)量,電容傳感器,LEMO連接器
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精密納米定位器Z向位移臺(tái)和偏擺臺(tái),50微米,0.6毫弧度,平行計(jì)量,電容傳感器,Sub-D連接器
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精密納米定位器Z向位移臺(tái)和偏擺臺(tái),100微米,1.4毫弧度,平行計(jì)量,電容傳感器,Sub-D連接器
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精密納米定位器Z向位移臺(tái)和偏擺臺(tái),200微米,2.4毫弧度,平行計(jì)量,電容傳感器,Sub-D連接器
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