德國PI (Physik Instrumente)Q-Motion?轉臺Q-632

Q-Motion®轉臺

通過壓電電機實現(xiàn)其緊湊外形：轉臺直徑為30毫米

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Q-632 Q-Motion®轉臺

§ 寬僅32毫米、高僅8毫米

§ 采用增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量，編 碼器分辨率為0.75微弧度（可選）

§ 最小位移高達3微弧度

§ 旋轉范圍>360度

§ 速度為45度/秒

§ 適用于高達10- 6百帕的真空環(huán)境，還可提供用于真空 達10-9百帕的版本

壓電慣性驅動器

壓電陶瓷慣性驅動器為空間節(jié)約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅動器，其保持力相對較大，行程幾乎是無限的。慣 性驅動原理是基于由特殊驅動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹，移動轉子。由 于其慣性，轉子無法跟上促動器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達20千赫茲時，驅動直接作用在轉子 上，實現(xiàn)最大為45度/秒的速度

應用領域

微裝配、光子學、光學對準、顯微鏡、高能束線設備、半導體技術、測試應用

訂購信息

Q-632.930

Q-Motion®

轉臺，壓電慣性驅動，旋轉范圍>360度，增量編碼器，分辨率為0.75微弧度，力矩為6毫牛米，直徑為30毫米，真空 兼容至10-6 百帕

Q-632.900

Q-Motion®

轉臺，壓電慣性驅動，旋轉范圍>360度，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，力矩為6毫牛米，直徑為30毫米，真空兼 容至10-6 百帕

Q-632.90U

Q-Motion®

轉臺，壓電慣性驅動，旋轉范圍>360度，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，力矩為6毫牛米，直徑為30毫米，真空兼 容至10-9 百帕

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