用于濺射系統(tǒng)和離子源的直流電源–脈沖發(fā)生器
作為真空涂層系統(tǒng)工業(yè)電源的領(lǐng)先制造商之一，ADL 模擬和數(shù)字萊斯頓塞萊克特羅尼克有限公司為客戶提供復(fù)雜的流程的創(chuàng)新解決方案。
自 1992 年以來，ADL 一直在開發(fā)和生產(chǎn)全球全天候使用的電源。它們確保玻璃、箔材、工具、鏡片（眼鏡）、時(shí)尚珠寶、塑料（汽車大燈）、CD 和 DVD、平板屏幕、電子元件、半導(dǎo)體等的可靠涂層。
ADL 的直流濺射電源已開發(fā)用于工業(yè)生產(chǎn)工廠。這些設(shè)備的特點(diǎn)是壽命長、堅(jiān)固耐用和易于使用。全自動弧形處理可保證最佳涂層效果，并防止操作錯(cuò)誤。
ADL 能夠按照模塊化原理構(gòu)建設(shè)備，將不同的模塊作為客戶特定的電源，從而最能適應(yīng)客戶需求。當(dāng)然，還有各種接口模塊可用，因此ADL電源可以輕松地集成到任何系統(tǒng)中。
主要產(chǎn)品
離子源電源
加速器
中和器
發(fā)射器
通訊模塊
脈沖發(fā)生器
單極脈沖發(fā)生器
濺射電源
直流電源
直流濺射電源
中頻雙極型脈沖發(fā)生器
主要型號
ADL GG03
ADL GIP10
ADL GG12
ADL Profibus 2.547
ADL GS 05 – GS 30
ADL GS 60 – GS 150
ADL GSW 100 – GSW 300
ADL GX 50 – GX 150
ADL HX 150 – HX 300
ADL SD 30
ADL SD 150
ADL SD 300
ADL SB 300
ADL GSW 100/500
ADL GSW 100/800
ADL GSW 150/400
ADL GSW 150/500
ADL GS 60/800
ADL GS 80/800
ADL GSW 200/1000
ADL GX 50/800
ADL GX 60/800
ADL HX 150/400
ADL HX 150/500
ADL HX 150/800
ADL HX 150/1000
ADL HX 200/800
ADL GP 10/800
ADL GP 15/800
ADL GP 20/800
ADL GP 30/800
ADL GP 30/1000
ADL GP 60/800
ADL GP 100/800
ADL GP 120/800
ADL GP 150/800
ADL RD 300
ADL GG 03
ADL GG 03.1
ADL GG 12
ADL GG 12.1
常用產(chǎn)品介紹
直流濺射電源GS 05 - GS 30
緊湊型設(shè)備已開發(fā)用于生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室設(shè)施中較小的磁子。由于操作簡單安全，電源可以非常靈活地使用。
弧形處理自動適應(yīng)不同的過程參數(shù)，因此無需編程工作。這些設(shè)備設(shè)計(jì)用于安裝在 19" 組件中。
輸出功率0.5-3.0kW
空氣 1/2 19" 內(nèi)置住房， 3R
可互換接口模塊
電壓、電流和電源的數(shù)字顯示屏
通過前面板手動操作
自動弧形處理
直流濺射電源GS 60–GS 150
GS 60 – GS 150 系列的氣冷直流電源有三種操作變種：主動前面板、被動前面板和狀態(tài) LED。電源可在不限制切換時(shí)間的情況下全額定功率運(yùn)行。
幾個(gè)模塊的并行操作是可能的。GS 60–GS 150系列，像所有ADL電源一樣，具有極快的自動弧線取消。設(shè)備的操作非常簡單和安全。
輸出功率 6.0 - 15kW
空氣
19" 內(nèi)置住房， 3 美國
無潛力輸出
焦耳時(shí)尚
自動弧形處理
直流濺射電源GSW 100–GSW 300
可同時(shí)運(yùn)行至240kW，可增加輸出功率。有了特殊的電路概念，"主奴隸布線"可以免除。即使在非空調(diào)客房，高效的水冷卻也可確保最大的可靠性。
這些設(shè)備可以通過活動前面板或界面手動操作。提供各種前面板和接口模塊。極快的弧形處理完全自動工作，即使在并行操作中也不需要外部同步。
輸出功率10-30kW
水冷卻
19"住房， 3 U
電磁閥控制
無潛力輸出
并行運(yùn)行至240kW
自動弧形處理
直流濺射電源GX 50–GX 150
GX 濺射電源能夠自動擦除高達(dá)每秒 80，000 個(gè)弧。極端性能，加上小尺寸，是GX系列的突出標(biāo)志。
這些設(shè)備可以全額定功率運(yùn)行，不受切換時(shí)間的限制，也可以并行連接。
輸出功率5-15kW
水冷卻
1/2 19" 住房， 3U
無潛力輸出
焦耳時(shí)尚
自動弧形處理
直流濺射電源 HX 150 - HX 300
1/2 19"寬度和5U的極其緊湊的設(shè)計(jì)是專門為生產(chǎn)工廠開發(fā)的，其中將不配用控制柜。HX 具有安裝選項(xiàng)卡，可直接集成到任何安裝位置的系統(tǒng)中。
顯示屏是旋轉(zhuǎn)的，可以從設(shè)備中分離出來。即使在非空調(diào)客房，高效的水冷卻也可確保最大的可靠性。為了避免凝結(jié)，可以通過集成溫度控制連接外部電磁閥。
可同時(shí)運(yùn)行至240kW，可增加輸出功率。特殊的電路概念允許主奴隸操作和并行控制通過界面組合或Provibus。極快的弧形處理完全自動工作，因此無需設(shè)置參數(shù)。
輸出功率 15kW 至 30kW
并行運(yùn)行至240kW
水冷卻
電磁閥控制
帶灰塵顆粒分離器的住房通風(fēng)
1/219" 住房， 5U
法蘭格緊固件
M8 女線起重機(jī)小眼
可拆卸旋轉(zhuǎn)顯示屏
自動弧形處理
離子源電源
對于離子源（考夫曼和ECR）的操作，提供各種特殊設(shè)備，也可以根據(jù)要求提供其他輸出電壓或服務(wù)。
所有設(shè)備均可選擇配備模擬接口或與 Profibus 連接。
脈沖發(fā)生器、選項(xiàng)和配件
PULSE 發(fā)電機(jī) RD 300 與大多數(shù) ADL 電源一起，按照共振開關(guān)原理工作。由于效率極高（30kW時(shí)為99.5%），該設(shè)備非常緊湊，只能產(chǎn)生最大150W的低耗電量。
現(xiàn)有系統(tǒng)可以很容易地進(jìn)行改裝，因?yàn)榘l(fā)電機(jī)與直流電源并行直接連接到陰極。該設(shè)備的工作頻率為 2kHz。但是，使用外部信號發(fā)生器，頻率可在 0.2 到 3kHz 之間變化。幾個(gè)發(fā)電機(jī)可以通過控制線進(jìn)行自動同步連接。
單極脈沖發(fā)生器 SD 30、SD 150 和 SD 300
脈沖發(fā)生器與ADL直流電源一起生成單極脈沖。這些設(shè)備的固定頻率為 20kHz。使用外部信號發(fā)生器，頻率變化范圍從 1kHz 到 40kHz 不等。發(fā)電機(jī)具有自動電弧抑制。
行程級別和中斷時(shí)間的參數(shù)會自動適應(yīng)相應(yīng)的過程。不需要用戶通常的編程。幾個(gè)發(fā)電機(jī)可以通過控制線進(jìn)行同步連接。設(shè)備自動切換到外部同步。
輸出功率 3 千瓦，15 千瓦，30 千瓦
并行運(yùn)行至240千瓦
自動弧形處理
無潛力輸出
自動同步
空氣
非常緊湊的設(shè)計(jì)
法蘭格緊固件
中頻和雙極脈沖發(fā)生器 SB 300
雙極脈沖發(fā)生器 SB 300 既可用作中頻發(fā)生器，以生成平衡交替電流，也可用于非對稱方脈沖的雙極脈沖器。通過特殊的功率商控制，雙磁子的目標(biāo)壽命可以精確對稱。
兩種不同的目標(biāo)材料也可以用不對稱的脈沖能力進(jìn)行控制。Qotienten 控制器通過脈沖寬度調(diào)制 （PWM） 自動設(shè)置脈沖時(shí)間。該設(shè)備的固定頻率為 20kHz。發(fā)電機(jī)具有自動電弧抑制。
行程級別和中斷時(shí)間的參數(shù)會自動適應(yīng)相應(yīng)的過程。不需要用戶通常的編程！幾個(gè)發(fā)電機(jī)可以通過控制線進(jìn)行同步連接。設(shè)備自動切換到外部同步。
輸出功率 30kW，交流電
主/奴隸或并行操作中的設(shè)備組合，最高可達(dá) 240kW
比率功率控制器
自動同步
水冷卻
非常緊湊的設(shè)計(jì)
無潛力輸出
模塊化系統(tǒng)允許 HX （DC） 與單極脈沖發(fā)生器 （SD） 或雙極脈沖發(fā)生器 （SB） 的組合
緊湊型 1/2 19" 設(shè)計(jì)
雙極脈沖發(fā)生器與PWM控制保證絕對對稱濺射！
卓越的超高速和全自動弧形管理
過程可重復(fù)性：優(yōu)于 1-2%
技術(shù)優(yōu)勢作為核心競爭力
ADL模擬和數(shù)字萊斯頓塞萊克特羅尼克有限公司開發(fā)獨(dú)立和復(fù)雜的技術(shù)，測試方法和生產(chǎn)方法的工業(yè)電源。達(dá)姆施塔特的生產(chǎn)基地?fù)碛袠O高的垂直制造范圍和廣泛的質(zhì)量管理，生產(chǎn)出"德國制造"的優(yōu)質(zhì)設(shè)備
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