PI納米立方體?納米定位器P-616

   

PI納米立方體®納米定位器P-616

用于納米定位和纖維對(duì)齊的緊湊型并行-運(yùn)動(dòng)壓子系統(tǒng)

· 并行運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)所有空間方向的最高剛度

· 由于諧振頻率高，即使負(fù)載高達(dá)100克，也具有高度動(dòng)態(tài)的運(yùn)動(dòng)

· 由于單一安裝平臺(tái)，創(chuàng)新產(chǎn)品設(shè)計(jì)，PI定位器吳亞男可靈活使用。

· 市場(chǎng)上只有具有 ID 芯片功能的納米定位器

· 最小和最輕的納米立方體®與100μm的旅行范圍在市場(chǎng)上

應(yīng)用范圍

· 光纖定位和對(duì)齊

· 掃描顯微鏡

· 2光元聚合
PI定位器吳亞男

· 納米技術(shù)和納米制造

· 光子學(xué)/集成光學(xué)

· 微操縱

· 示例定位

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	P-616.3C	單位	浮動(dòng)值
運(yùn)動(dòng)和定位
活動(dòng)軸	X、Y、Z
旅行范圍在 -20 至 120 V，開(kāi)環(huán)	110/軸	μm	#DIV/0!
旅行范圍，閉環(huán)	100/軸	μm	#DIV/0!
分辨率，1s，打開(kāi)循環(huán)	0.3	納米	類(lèi)型。
分辨率，1 s，閉環(huán)	0.4	納米	類(lèi)型。
線性錯(cuò)誤	0.03	%	類(lèi)型。
雙向可重復(fù)性，1 s，10% 旅行范圍	•lt：10	納米	類(lèi)型。
雙向可重復(fù)性，1 s，100% 旅行范圍	•lt：15	納米	類(lèi)型。
傳感器
傳感器類(lèi)型	電容式傳感器
機(jī)械特性
剛度	0.5	N/μm	±10%
共振頻率X/Y/Z，無(wú)負(fù)載	700	赫茲	±10%
與30克負(fù)載X/Y/Z共振頻率	380	赫茲	±20%
共振頻率與100克負(fù)載X/Y/Z	250	赫茲	±20%
推/拉力能力	15	N	麥克斯。
最大允許扭矩	0.4	納米	麥克斯。
驅(qū)動(dòng)器屬性
陶瓷類(lèi)型	事先知情同意®P-885.50
電容	1.5/軸	μF	±20%
雜項(xiàng)
工作溫度范圍	-20 至 80	°C
材料	鋁、鋼
尺寸	40 × 40 × 40	毫米
無(wú)負(fù)載移動(dòng)質(zhì)量	0.021	公斤
沒(méi)有電纜的質(zhì)量	0.125	公斤
帶電纜的質(zhì)量	0.4	公斤
電纜長(zhǎng)度	1.5	m	±10毫米
連接器	D-子 25W3 （m）
推薦電子產(chǎn)品	E-503， E-663， E-712， E-727

 

· PI 的壓子柔性階段將亞納米分辨率和制導(dǎo)精度與最小相聲相結(jié)合。這使得它們特別適用于計(jì)量學(xué)、超分辨率顯微鏡、干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢測(cè)系統(tǒng)的應(yīng)用。Piezo 柔韌階段可用于毫秒穩(wěn)定精度定位和動(dòng)態(tài)掃描，在高達(dá) 6 度的自由度內(nèi)，最多可進(jìn)行 100 赫茲。

· 專(zhuān)有傳感器設(shè)計(jì)、無(wú)摩擦彈性導(dǎo)引和長(zhǎng)壽命 PICMA ®壓電執(zhí)行器的獨(dú)特組合造就了卓越而堅(jiān)固的力學(xué)。PI定位器吳亞男 Piezo 運(yùn)動(dòng)控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，通過(guò)數(shù)字或模擬接口和舒適的編程輕松集成。

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· PI 的多軸壓子柔韌級(jí)允許在多達(dá) 6 個(gè)軸(包括尖端、傾斜和偏航運(yùn)動(dòng))中以亞納米精度定位和掃描。版本范圍從最緊湊的立方體設(shè)計(jì)到大孔徑和低調(diào)。

· XYZ 掃描儀是定位技術(shù)的全能型。PI 177定1858位3804器應(yīng)用包括樣品調(diào)整、技術(shù)、光學(xué)計(jì)量、光纖定位和光子，以及原子力顯微鏡。

· 所有壓子納米定位系統(tǒng)均經(jīng)過(guò)工廠校準(zhǔn)，并隨測(cè)量日志一起交付。

帶電容傳感器的子納米分辨率

電容式傳感器在不接觸的情況下使用亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量。PI 177定1858位3804器它們保證了 kHz 范圍內(nèi)出色的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和帶寬。

自動(dòng)配置和快速組件交換

力學(xué)和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合并快速交換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在力學(xué) D 子連接器的 ID 芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用

壓子系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作時(shí)無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。無(wú)聚合物的壓子系統(tǒng)允許特別低的超高氣率。

杰出的PICMA®壓電執(zhí)行器

獲得專(zhuān)利的PICMA®壓電執(zhí)行器均為全陶瓷絕緣。這樣可以防止因泄漏電流增加而導(dǎo)致的濕度和故障。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。1000億個(gè)周期沒(méi)有一次失敗被證明。

由于零播放彈性指南，PI 177定1858位3804器指導(dǎo)精度高

Flexure 指南不含維護(hù)、摩擦和磨損，不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載容量，并且對(duì)沖擊和振動(dòng)麻木不仁。它們 100% 真空兼容，在寬溫范圍內(nèi)工作。

由于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)，高動(dòng)力學(xué)多軸操作

在平行運(yùn)動(dòng)多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器在公共平臺(tái)上工作。所有軸的最小質(zhì)量慣性和相同的設(shè)計(jì)允許快速、動(dòng)態(tài)、精確的運(yùn)動(dòng)。

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