德國PI緊湊型線性平臺
&&M-110•M-111•M-112 V6緊湊型線性平臺,適用于真空
XY(Z)組合與直流齒輪電動機和各種行程范圍變體
M-110•M-111•M-112 V6緊湊型線性平臺,適用于真空
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適用于高達10-6 hPa的真空
折疊式驅(qū)動器非常緊湊
閉環(huán)直流電動機
行程范圍:5、15和25毫米
非接觸式參考和限位開關(guān)
XY設(shè)置可以直接安裝
緊湊型線性平臺,用途廣泛
線性平臺具有緊湊的尺寸,歸因于帶皮帶驅(qū)動的折疊驅(qū)動。直徑為10毫米的透明孔。XY設(shè)置可以直接安裝而無需轉(zhuǎn)接板。
駕駛
閉環(huán)直流減速電機
背隙補償絲杠
應用領(lǐng)域
真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。
減少放氣,特別是在真空環(huán)境下使用
最顯著的是,為了潤滑導向裝置和驅(qū)動螺桿,使用了排氣量極低的材料。因此,烘烤溫度可達到80°C。通過對PI V6真空等級的這種和其他修改,該定位器的使用時間可達10 -6 hPa。
位置測量
電機軸上的旋轉(zhuǎn)編碼器
非接觸霍爾效應參考和限位開關(guān)
&&L-611 V6•V7•V9適用于真空的精密旋轉(zhuǎn)平臺
高行程精度
L-611 V6•V7•V9適用于真空的精密旋轉(zhuǎn)平臺
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適用于高達10-9 hPa的真空
無限旅行范圍
極高分辨率
步進電機
方向感應參考開關(guān)
可以進行多軸設(shè)置
參考級旋轉(zhuǎn)臺
由于預載蝸輪蝸桿傳動裝置的游隙小,因此可以實現(xiàn)高精度定位。預裝的樞軸軸承可實現(xiàn)較高的行程精度。Ø35毫米的透明孔。雙向旋轉(zhuǎn)的行程范圍不受限制。參考開關(guān)。
高真空應用的更高質(zhì)量
在這種情況下,將使用適合于高真空的特殊組件,例如電動機,測量系統(tǒng)和限位開關(guān)。此外,表面由無涂層的鋁制成,驅(qū)動螺釘和導軌由不銹鋼制成。這樣,達到了PI V7真空等級,這意味著高達10 -7 hPa。
選件:行程精度和定位精度的測量
可根據(jù)要求提供單獨的測量記錄,以用于擺動,軸向和徑向蠕變。訂購時請注明。
減少放氣,特別是在真空環(huán)境下使用
最顯著的是,為了潤滑導向裝置和驅(qū)動螺桿,使用了排氣量極低的材料。因此,烘烤溫度可達到80°C。通過對PI V6真空等級的這種和其他修改,該定位器的使用時間可達10 -6 hPa。
質(zhì)量滿足超高真空的特殊要求
在此真空等級中,由于適用于超高真空的組件,產(chǎn)品在所有細節(jié)上均得到了優(yōu)化,以達到10 -9 hPa的PI V9真空等級。除其他事項外,為此僅使用選定類型的塑料,烘烤溫度為120°C(帶測量系統(tǒng))或150°C(不帶測量系統(tǒng))。
應用領(lǐng)域
真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。
德國PI精密Z工作臺
&&L-310 V6精密Z工作臺,適用于真空
可與線性和旋轉(zhuǎn)平臺緊湊地組合
L-310 V6精密Z工作臺,適用于真空
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適用于高達10-6 hPa的真空
行程范圍26毫米(1英寸)
高分辨率編碼器
步進電機
零間隙滾珠絲杠
承重達5.5公斤
精密級Z載物臺
滾珠絲杠和交叉滾子導軌可實現(xiàn)較高的導向精度和剛度。減輕應力的鋁制底座,具有的穩(wěn)定性。2相步進電機即使在低速和高分辨率時也可提供高扭矩,非接觸式限位和參考開關(guān)(霍爾效應)。在行程范圍中間帶有方向感應的參考開關(guān)。集成線性編碼器,安裝在中心。
減少放氣,特別是在真空環(huán)境下使用
最顯著的是,為了潤滑導向裝置和驅(qū)動螺桿,使用了排氣量極低的材料。因此,烘烤溫度可達到80°C。通過對PI V6真空等級的這種和其他修改,該定位器的使用時間可達10 -6 hPa。
使用增量線性編碼器進行高精度位置測量
非接觸式光學編碼器可以精度直接在平臺上測量位置。非線性,機械間隙或彈性變形對測量沒有影響。
應用領(lǐng)域
真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。