Brooks Instrument高溫質(zhì)量流量控制器5850EMH系列

Brooks Instrument高溫質(zhì)量流量控制器5850EMH系列

 

    Brooks Instrument精密流體測量和控制技術(shù)的制造商，產(chǎn)品主要應(yīng)用在在重工業(yè)。在石油和天然氣精煉中?；瘜W(xué)和石化研究。制藥和生物制藥生產(chǎn)。太陽能電池、LED、薄膜、光纖和半導(dǎo)體制造。

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制器說明：

   Brooks Instrument 的 5850EMH系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器在高溫氣體測量和控制方面提供性能，將金屬密封的泄漏完整性與各種選項相結(jié)合，從而實現(xiàn)應(yīng)用靈活性。     Brooks Instrument 5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制器的核心是高度穩(wěn)定的傳感器，可提供與流量成線性關(guān)系的電輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的，無需自動歸零電路。

 

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制器特征：

高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）

寬流量范圍（0.003 – 100 slpm）

高純度 VAR 316L 不銹鋼

無顆粒物

氦泄漏檢查端口

常閉閥（常開閥可選）

電動閥超控

低指令流截止

TTL兼容“閥門關(guān)閉”功能

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制器優(yōu)勢：

高達 100 lpm（N 2等效）的高流量能力

全金屬流路提高了氣體純度并減少了泄漏

通過僅模擬輸入/輸出輕松安裝和維修

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制器應(yīng)用

光纖制造 – MCVD、OVD、AVD

水蒸氣流量控制 

 

Brooks Instrument 5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制器應(yīng)用規(guī)格：

流量范圍（滿量程）：3 sccm - 30 slm（當量 N 2）  

重復(fù)性：< ±0.25% SP 

響應(yīng)時間：3 秒至 SP 的 2% 以內(nèi)（根據(jù) SEMI E17-91）

模擬通信：：0-5 伏直流電

流量范圍（滿量程）：100 slm（N 2等效）

準確性：FS 的 1%

線性度：包括在準確性中。

密封材料：金屬

接液材料：316L、316L VAR 和高合金鐵 SS

溫度：105攝氏度_

差壓范圍：50 - 350 kPa (7 - 50 psid)

壓力：1 兆帕（145 磅/平方英寸）

泄漏完整性：1x10 -10 atm cc/sec He (1x10 -11 Pa m 3 /sec)

電氣連接：15 針“D”連接器

電源/消耗：±15 Vdc @ 350 mA 

 

Brooks Instrument流量計常見型號：

Brooks Instrument SLA5853S3AAB2C2A1

Brooks Instrument SLAMF50S1BAF1G2A2

Brooks Instrument SLAMF50S1BAB1G2A2

Brooks Instrument SLAMF50S1BDD1G2A2

Brooks Instrument 1350GAH3ABJT1AAA

Brooks Instrument SLA5850SB1AB1B2A1

 

Brooks Instrument高溫質(zhì)量流量控制器5850EMH系列