德國(guó)PI 精密的XY位移平臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)高運(yùn)動(dòng)精度和穩(wěn)定性

 

這些緊湊型定位系統(tǒng)可沿X和Y方向工作，其行程為100至300毫米，速度可達(dá)500毫米/秒，并且能夠以高重復(fù)精度定位（單向重復(fù)精度可達(dá)0.05微米）。集成的高分辨率線性編碼器直接在平臺(tái)上測(cè)量位置；因此，非線性效應(yīng)、機(jī)械游隙或彈性變形不會(huì)對(duì)位置測(cè)量造成任何影響。此外，具有平坦輪廓的平面設(shè)計(jì)很大程度地減少了堆疊誤差并提高了剛度。100毫米的變型（圖）在中心同樣具有大孔徑，因此可以從上方或下方接近樣本或工件。

 

XY位移平臺(tái)由PI控制器或基于EtherCAT的ACS控制模塊控制，該模塊還提供基于事件的觸發(fā)，以控制與運(yùn)動(dòng)模式相關(guān)的激光或測(cè)量工具。

選擇適應(yīng)不同要求的電機(jī)

 

線性電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)（V-731、V-738和V-741）或步進(jìn)和直流電機(jī)（L-731、L-738和L-741）是XY位移平臺(tái)的原動(dòng)力。三相磁性線性電機(jī)省去了動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng)中的機(jī)械組件，并將驅(qū)動(dòng)力直接傳輸?shù)竭\(yùn)動(dòng)平臺(tái)且不會(huì)產(chǎn)生任何摩擦。這意味著可以實(shí)現(xiàn)高達(dá)500毫米/秒的速度。無(wú)鐵芯電機(jī)非常適合對(duì)精度有超高要求的定位任務(wù)，因?yàn)槠洳粫?huì)與永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這么一來(lái)，即使在最低的速度下也能保持平穩(wěn)的運(yùn)行，且在高速狀態(tài)下也不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)。

 

L-731、L-738和L-741 XY位移平臺(tái)的工作速度可達(dá)90毫米/秒?？梢允褂貌竭M(jìn)電機(jī)或直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)精密滾珠絲杠。兩相步進(jìn)電機(jī)在較低的速度下也會(huì)產(chǎn)生高扭矩；對(duì)于要求高運(yùn)行平穩(wěn)性和較高速度的應(yīng)用，建議使用直流電機(jī)變型。

 

PI簡(jiǎn)介

 

PI (Physik Instrumente)是全球精密定位技術(shù)市場(chǎng)的佼佼者，多年來(lái)以其優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品而聞名。 在使用壓電或電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的標(biāo)準(zhǔn)及OEM產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和制造方面，PI擁有40年的歷史。ACS是多軸高精度驅(qū)動(dòng)器系統(tǒng)用模塊化運(yùn)動(dòng)控制器的開(kāi)發(fā)商和制造商，通過(guò)收購(gòu)其大多數(shù)股份，PI在為要求高精度和動(dòng)態(tài)的工業(yè)應(yīng)用提供整套系統(tǒng)的方面又向前邁進(jìn)了重要一步。PI集團(tuán)分布全球，除了在德國(guó)設(shè)有四個(gè)基地之外，在其他國(guó)家和地區(qū)還設(shè)立了總共十五個(gè)銷售和服務(wù)分部。