TORRI多級羅茨真空泵可為抽空load lock腔體提供結(jié)構(gòu)緊湊、高效節(jié)能的解決方案。

　　該泵具有低極限壓力和出色腔體抽真空時間等特點。

　　工作原理：

　　羅茨真空泵和鼓風(fēng)機依據(jù)久經(jīng)考驗的羅茨原理運行。兩個螺旋轉(zhuǎn)子平行安裝在殼體內(nèi)， 這些三葉轉(zhuǎn)子沿相反方向運轉(zhuǎn)。通過凸輪轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)運動吸入泵送介質(zhì)、對其進行壓縮并將其輸送至下一級或出口。

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　　凸輪轉(zhuǎn)子既不相互接觸，也不與外殼接觸。因此，工藝室內(nèi)無需添加任何潤滑液或工作液。

　　兩個凸輪轉(zhuǎn)子由位于齒輪箱軸端并與壓縮腔室分離的一對齒輪驅(qū)動， 如此可確保精確的同步轉(zhuǎn)子運轉(zhuǎn)。

　　用于 load lock 腔體的緊湊、高效解決方案：

　　低振動、低噪聲級

　　重量輕盈

　　尺寸小巧

　　采用干式和非接觸式工作原理

　　使用壽命長

　　總擁有成本低

　　優(yōu)勢：

　　TORRI BD 是市場上小尺寸、低重量的 高效 干式多級羅茨真空泵之一。因此，該款真空泵是用于抽空 load lock 腔體的理想解決方案。

　　依托其久經(jīng)驗證的工作原理，它們可以實現(xiàn) 低極限壓力 。其出色的腔體抽真空時間進一步縮短了總平均循環(huán)周期。

　　完全開放的通信協(xié)議 (Modbus RTU) 可以使用標(biāo)準(zhǔn)接口組件輕松適用特定的網(wǎng)絡(luò)協(xié)議。

　　選配的 LCD 控制器可以 輕松監(jiān)控 真空泵的狀態(tài)?？梢燥@示所有相關(guān)參數(shù)，如電機溫度、電機電流、冷卻水流量和泵體溫度。

　　北京漢達森機械技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事歐洲工業(yè)產(chǎn)品進口貿(mào)易的公司。主要產(chǎn)品有工業(yè)自動化設(shè)備、機電設(shè)備、液壓設(shè)備、電氣設(shè)備和零部件等產(chǎn)品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內(nèi)一些貿(mào)易商，設(shè)備商及終端客戶提供產(chǎn)品代購服務(wù)。

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