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對高純度應(yīng)用的高要求
減少所有類型的污染是生產(chǎn)對污染敏感的產(chǎn)品(如半導(dǎo)體或制藥行業(yè))的最重要目標(biāo)。為了保證無故障生產(chǎn)過程并排除關(guān)鍵殘留物，制造過程中使用的所有產(chǎn)品都必須表現(xiàn)出高度純度。
為了分析我們的Bianca蝴蝶閥，Exyte技術(shù)有限公司的跟蹤分析部門，清潔室技術(shù)和控制環(huán)境專家，根據(jù)SEMB F40和F57委托進(jìn)行粒子和 TOC測試。
粒子測試
使用超現(xiàn)代粒子測量裝置Ultra DI 50在粒子殘留物上測試了高純度執(zhí)行中的Bianca蝴蝶閥，這是跟蹤分析的理想之選。
根據(jù) SEMI F40 和 F57，允許最大限值為 0.10 顆粒/毫升。比安卡蝴蝶閥的測試值為0.01顆粒/毫升，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于允許值。
托克測試
在 TOC 測試(有機(jī)碳測試總量)范圍內(nèi)，分析了超純水中所有有機(jī)碳的總和。
根據(jù) SEMI F40 和 F57 標(biāo)準(zhǔn)，該測試定義了 1 < ppb 的限制值。比安卡蝴蝶閥門也跌破這個值，測試值為0.7ppb。
高純度蝴蝶閥比安卡 - 高純度應(yīng)用的絕對安全性
Exyte技術(shù)有限公司進(jìn)行的粒子測試和 TOC 測試都證實，高純度執(zhí)行中的 Bianca 蝴蝶閥具有高度純度，非常適合用于生產(chǎn)對污染敏感的產(chǎn)品。
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