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德國ATL LASER
型號：ATLEX-500-L-KrF
型號：ATLEX-500-L-KrF
氣體介質(zhì)：KrF
波長：248nm
高壓開關(guān)技術(shù)：固態(tài)開關(guān)
最大脈沖能量：15mJ
最大平均功率：6.5W
最大重復率：500Hz
脈沖持續(xù)時間：5–8ns
尺寸：6x4mm
光束發(fā)散：2x1mrad
能量穩(wěn)定性：<2%
應用范圍：
TMC（全金屬陶瓷）容器
固態(tài)開關(guān)
延長動態(tài)和靜態(tài)氣體壽命（幾個月）
風冷/可選液冷
用于系統(tǒng)集成的RS-485、RS232、USB和光纖接口
可沖洗的光學支架
便于氣體處理的集成4閥系統(tǒng)
能量穩(wěn)定模式
動態(tài)風扇速度控制
德國ATL LASER 型號：ATLEX-500-L-ArF
氣體介質(zhì)：ArF
波長：193nm
高壓開關(guān)技術(shù)：固態(tài)開關(guān)
最大脈沖能量：10mJ
最大平均功率：4.0W
最大重復率：500Hz
脈沖持續(xù)時間：5–8ns
尺寸：6x4mm
光束發(fā)散：2x1mrad
能量穩(wěn)定性：<2%
尺寸：600x415x567mm
重量：70kg
冷卻：空氣冷卻
電力要求：230VAC/10A/1Phase/50-60Hz
